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求助:有關(guān)MEMS器件(傳感器,執(zhí)行器)的文獻(xiàn)精讀的總結(jié)報(bào)告

要求:1.MEMS器件的工作原理(圖+文字) 2.設(shè)計(jì)原理和計(jì)算過程(圖+文字+公式) 3.制造工藝簡(jiǎn)述(圖+文字) 有寫過類似的大蝦幫幫忙啊~打包發(fā)到我郵箱3169155@qq.com 感激不盡!懸賞一定送上~
提問者:網(wǎng)友 2018-08-05
最佳回答
這可不是三言兩語能說的了得,誰有這功夫啊! 簡(jiǎn)單說下吧: MEMS 和其他品牌的傳感器大同小異, 壓力傳感器種類主要?dú)w結(jié)于傳感器的芯體不同,壓力傳感器芯體有多種陶瓷的芯體,擴(kuò)散硅的芯體,濺射薄膜芯體,電容陶瓷的,應(yīng)變片的,石英硅的, MEMS的 大概是陶瓷的 和擴(kuò)散硅的 兩類! 原理:主要惠斯通電橋原理 傳感器QQ175821424
回答者:網(wǎng)友
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